退火炉
有能力在真空失水由第10个世代决定lcd和oled基体的烘烤和焖火上。支持各种各样的配置，例如线型与在之前和成功的过程和使用机器人。在真空的热化过程是可利用的。这个系统，特别是，为在真空需要过程作为有机电的这样设备最适合于。它为第10个世代是可利用的。这个系统是可利用运用这样各种各样的处理样式象真空装载锁连接或联合的系统用机器人转移基体。
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