熟化炉
“yes-vertacure自动化，烤箱高温治疗系列为今天最先进的mems和半导体过程应用设计。是否这是为适当治疗聚酰亚胺在薄酥饼级包装(wlp)\/再分配层数(rdl)应用或锻炼的铜在一种先进的半导体装置，yes-vertacure帮助达到总环境控制增加出产量和扩大设备表现。系统合并yes-pb系列的层流技术。它容纳与一两个装载口岸的200和300mm薄酥饼和处理在一个联合类1迷你环境里面的薄酥饼机器人。50个薄酥饼被装载入一个不锈钢cassette-type机架在烤箱房间门，当装载是完全的，提起入真空chamber.<\/html>”时
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