2轴式加速度传感器
从第一个传感器的电容加速度传感器根据单晶硅并且运用最新的micromachining的技术。设备达到大信号噪音比和在给他们查出在加速度的零钱的温度的优秀稳定。由于高长宽比微结构(危害)传感器以极端底的发怒轴敏感性为特色。进一步，给予*的高度灵活的目标(空气隙被绝缘的微结构)技术使寄生电容减到最小。
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