波长测量仪器
s3000s™计量学系统为线型程序控制300mm先进的扩散和fabwide薄膜应用设计。它的创新光学设计使能与多波长、多角度被聚焦的射线ellipsometry(fbe)和，减少测量时间和极大增加在早先世代的深刻的紫外反射计(duvr)的同时测量生产量。规格所有唯一和多层feol和beol应用的真实的fabwide能力在32nm和28nm结和以远合并优越测量稳定的高强度，长寿命激光光源在类工具对工具和很好对很好匹配通过内在方法-没有软件交互作用的最好高度复杂唯一和多层膜的反复性的描述特性小射线大小在试验基地使能测量一样小象50x50微米任意190duv反射仪为193nm石版印刷过程和复杂多层膜提供高度反复性的测量任意薄酥饼重音或弓(wswb)影片重音和薄酥饼弓的联合测量的任意cognexpatmax®几何模式识别软件为薄酥饼提供健壮表现以极端颜色变异或极低的对比amc层一步，一致，非破坏性的撤除的任意maccontrol模块
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