精准保温板
陶瓷热板由氮化硅制成可以生产与300mm一条外面直径。在这条直径之内所有长方形形状、定制的形状和开头是可能的。板材的典型的高度是5mm和与一种联合冷却的渠道大约15mm。陶瓷材料的特别物产和诵经弥撒允许快速的加热速率、一致的温度发行和在控制的卓著的精确度。与金属比较陶瓷逗留表面平展由于它的低热扩散，既使当操作与在温度上的快速的变化。高强度热被按的氮化硅保证高重音抵抗(即与高压装载)和优秀耐磨性。热板非常适用于在半导体处理系统的过分要求的过程。
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