气体气体净化器
“氮气大块煤气净化器-ps9氮气megatorr净化器被提高，提供在小脚印的优化设计子ppb表现。泽斯纯净的气体在几年画在超高纯度(uhp)管道系统的设计的经验、先进的处理材料分析和科技目前进步水平综合控制系统开发净化器这个新的家庭适应低基建成本的需要，高可靠性和高性能。ps9系列使用双重催化作用和吸附过程明确地被设计为半导体应用提供超离频的纯净气体。出口ch4、co、二氧化碳、h2、h2o和o2的不纯度减少到每十亿个(ppb)水平的下面部分。如果ch4只没有需要撤除ps8吸附器可以使用净化器。在ps9氮气大块煤气净化器，碳氢化合物(ch4)，co和h2起反应在高温与，与o2一起，在周围温度吸附器船然后被去除的o2或cda在氧化的催化剂船形成二氧化碳和h2o。吸附器船交替之间净化和再生方式，提供连续的洗净。吸附器再生通过反冲洗完成与被净化的处理气体和低集中氢混合物在高温。ps9平台可以被制造到从15个nm3\/hr的流速到3,000个nm3\/hr.<\/html>”
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