气体气体净化器
“稀有气体\/nitrogen洗净-ps3-mt3研究表示，气体洗净保证半导体装置制造的一致和反复性的处理表现。问题的用途洗净隔绝从房子气体分布式系统的重要过程区并且防止受到气体纯净翻倒和交互污染。monotorr净化器为氮气和稀有气体提供根本洗净在流速5slpm。所有金属吸瓦斯剂材料去除杂质对<1ppb(参见下面图)。<\/html>”
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