加热炉
rtp-150-hv(高真空)，前端装载高真空服从的迅速热量处理烤箱与ramp率由75k/sec决定。主要特点是好温度均一精确地受控舷梯率和快速的舷梯下来速度低处理周转舒适的煤气控制与小脚印刷品的台式系统与前端装载抽屉的多用途台式单位以下应用的：为各种各样的半导体过程的优秀工具实施新的半导体过程原型研究质量管理焖火迅速热量过程siau，sial，simo熔合低k电介质种入焖火的岗位铜浆糊生火电阻器浆糊生火在要求时其他过程
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